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本发明涉及一种真空PVD镀膜方法，具体涉及一种缓解脆性氮化物涂层对金属疲劳性能损伤的方法。解决了现有用于航空发动机叶片的硬质金属氮化物涂层会显著降低金属基体在交变载荷作用下的疲劳性能的技术问题。本发明一种缓解脆性氮化物涂层对金属疲劳性能损伤的方法包括以下步骤：1)对金属基体表面进行预处理；2)将金属基体安装在阴极真空弧的真空室中，将金属靶安置于离子注入靶位；3)抽真空；4)向金属基体表面注入金属靶离子；5)在金属基体表面沉积掺Ni的氮化物涂层，使氮化物涂层厚度达到4.5～5.5μm，且氮化物涂层
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117210787A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202310951450.8
(22)申请日2023.07.31
(71)申请人西安交通大学
地址710049
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