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本发明提供晶片载放台，课题在于，防止附带有外螺纹的连接部件的外螺纹相对于附带有内螺纹的端子的内螺纹而松弛。晶片载放台具备：陶瓷基材(20)、植入部件(32)、附带有内螺纹的端子(40)、转接器(50)以及附带有外螺纹的连接部件(60)。陶瓷基材内置有加热器电极(22)。植入部件具有导电性，且与加热器电极电连接。附带有内螺纹的端子是与植入部件电连接且在突出部(41)的端面具有内螺纹(42)的导电性端子。转接器具有导电性，安装于突出部的端面，且具有与内螺纹连通的连通部(52b)，相对于附带有内螺纹的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117219484A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202310370217.0
(22)申请日2023.04.10
(30)优先权数据
2022-094256202
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