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提供一种能够提高描绘精度的多带电粒子束的评价方法、多带电粒子束描绘方法、检查方法及记录介质。该多带电粒子束的评价方法为，对通过设置于孔径阵列基板的多个开口部后的多带电粒子束中的多个单独射束的轨道进行评价，其中，将上述多带电粒子束的成像面的光轴方向的高度、或者形成有射束位置测定用的标记的测定面的光轴方向的高度设为互不相同的多个高度，分别测定上述多个单独射束的位置，基于在上述多个高度分别测定的上述多个单独射束各自的射束位置的差分即位置差分，提取上述多个单独射束中在射束轨道产生了变化的异常射束。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117215154A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202310667903.4
(22)申请日2023.06.07
(30)优先权数据
2022-094497202
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