一种基于相位恢复的光学元件面形检测装置及方法.pdfVIP

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2023-11-25 发布于四川
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一种基于相位恢复的光学元件面形检测装置及方法.pdf

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本发明涉及一种基于相位恢复的光学元件面形检测装置，包括光源、光纤、准直镜、分光镜、标准镜、空间光调制器、图像采集器、波前传感器。空间光调制器、图像采集器设置在分光镜的反射光路上，空间光调制器的分辨率大于等于128×128。本发明还涉及一种基于相位恢复的光学元件面形检测方法，包括放置被测光学元件、开启检测装置、调整空间光调制器、求取光强误差函数、重复调整空间光调制器、计算实际入射空间光调制器前的相位分布、求取被测光学元件的面形误差的步骤。本发明检测装置设置空间光调制器，检测方法中基于相位恢复，使被

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117109473 A (43)申请公布日 2023.11.24 (21)申请号 202311082752.2 (22)申请日 2023.08.25 (71)申请人中国科学院西安光学精密机械研究