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本发明遍及靶的整个表面地供给气体。溅镀装置(1)的真空容器(2)包括保持靶(30)的至少一个靶保持器(32)。靶保持器包括:气体导入部(51),导入气体(10);以及一对气体放出口(54),设置于靶周围的至少一部分的相向位置且将气体放出至真空容器内。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117043385 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202280020050.9 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理
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