晶棒转移装置及晶棒加工设备.pdfVIP

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2023-11-08 发布于四川
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晶棒转移装置及晶棒加工设备.pdf

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本申请涉及光伏技术领域，尤其是涉及一种晶棒转移装置及晶棒加工设备，晶棒转移装置包括：驱动主体，驱动主体设置有驱动组件；夹持组件，夹持组件设置于驱动组件，在驱动主体的驱动作用下，驱动组件能够在初始位置和目标位置之间往复运动；夹持组件包括夹爪，晶棒设置有晶托，夹爪能够夹持晶托，以使驱动组件带动夹持组件以及晶棒在初始位置和目标位置之间运动。本申请提供的晶棒转移装置，相较于人工搬移晶棒以在晶棒加工过程中实现上料、下料的过程中，本申请提供的晶棒转移装置显著提高了晶棒的转移效率，并且本实施例提供晶棒转移装置

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219968449 U (45)授权公告日 2023.11.07 (21)申请号 202223425655.2 (22)申请日 2022.12.19 (73)专利权人广东利元亨智能装备股份有限公