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处理平台具有带机器人的中央传送站和具有大于或等于约0.1重量%水蒸气的环境,连接到传送站的一侧面的预清洁腔室和连接到传送站的一侧面的批量处理腔室。处理平台经构造以预清洁基板,以从第一表面移除原生氧化物,使用烷基硅烷形成阻挡层并选择性地沉积膜。亦描述了使用处理平台和处理多个晶片的方法。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110226214 A (43)申请公布日 2019.09.10 (21)申请号 201880008
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