一种高灵敏度柔性电容式压力传感器及其制备方法、应用.pdfVIP

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2023-11-01 发布于四川
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一种高灵敏度柔性电容式压力传感器及其制备方法、应用.pdf

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本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种高灵敏度柔性电容式压力传感器及其制备方法、应用，所述高灵敏度柔性电容式压力传感器，包括依次层叠设置的第一柔性薄膜层、第一电极层、介电层、第二电极层和第二柔性薄膜层，其中，所述第二电极层和所述第二柔性薄膜层具有规则排布的仿生微纳结构。本发明通过设置微纳结构，大大拓宽了传感器感应压力时的形变范围，压力传感器的灵敏度大大提高；同时本发明的微纳结构为规则排布的仿生微纳结构，微纳结构在传感器平面内分布均匀，且微纳结构大小均匀，制得的传感器不同位置应变性能均衡，具有良好

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116973012 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202310751434.4 (22)申请日 2023.06.25 (71)申请人深圳市华科创智技术有限公司地址