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扫描电子显微镜（SEM ） 绪言 扫描电子显微镜是自上世纪60年代作为商用电镜面世以来迅速发展起来的 一种新型的电子光学仪器。由于它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的 分辨率高、景深大等特点，故被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、 半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。 1. 扫描电子显微镜的工作原理 扫描电镜是对样品表面形态进行测试的一种大型仪器。当具有一定能量的入 射电子束轰击样品表面时，电子与元素的原子核及外层电子发生单次或多次弹性 与非弹性碰撞，一些电子被反射出样品表面，而其余的电
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