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本发明提供一种封装型旋转泵单元，即使在内置于密闭箱体的旋转泵作为真空泵在真空度高的范围内使用的情况下，也能够防止密闭箱体的内部空气过热，从而能够维持高的泵性能，能够延长装置寿命。封装型旋转泵单元具备：电动旋转泵(200)，其具备吸入/排出气体的旋转泵(2)及电动马达(3)；以及密闭箱体(1)，其内置该电动旋转泵(200)，而且，具备：液冷换热器(5)，其配置于密闭箱体(1)的内部，从配置于密闭箱体(1)的外部的冷却液供给源(4)接受冷却液的供给而被冷却；以及送风装置(6)，其配置于密闭箱体(1)
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116971993 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202310978619.9 (51)Int.Cl .
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