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本发明公开了一种基于超表面的太赫兹微型光谱仪，工作频率1‑5太赫兹；由下至上依次为衬底、耗尽层、二维材料吸收层、金属超表面滤光片；在金属超表面滤光片的两端设置源、漏极，组成太赫兹微型光谱仪；通过在源、漏、栅极施加不同的电压，调控二维材料吸收层的费米能级；最少仅需一个金属超表面滤光片进行光谱编码，便可以收集物体的光谱数据；通过深度学习解码后，输出不同频率下的透射率。该光谱仪可以重构物体在1‑5太赫兹频率的光谱数据，光谱分辨率可达0.00078太赫兹。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116973333 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202310971080.4 (22)申请日 2023.08.03 (71)申请人 浙大城市学院 地址 310015
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