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本发明提供了一种钼合金废靶的回收再利用方法，所述回收再利用方法包括：将钼合金废靶依次进行第一氢化、第二氢化、破碎处理和脱氢处理，得到钼合金粉；所述第一氢化的温度小于所述第二氢化的温度。本发明通过第一氢化‑第二氢化‑破碎处理‑脱氢处理工序将钼合金废靶制成高纯度、低氢含量、低氧含量的钼合金粉末，可重新运用于钼合金靶材的生产中，工艺简单、能耗低，提升了材料的利用率；进一步通过控制第一氢化的温度小于第二氢化的温度，不仅能够确保将任何形状及厚度的废靶破碎成粉末，还能进一步降低钼合金粉的氧含量。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116970812 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202310966111.7 (22)申请日 2023.08.02 (71)申请人 宁波江丰电子材料股份有限公司 地址
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