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本发明描述与数字线及单元触点隔离相关的方法、设备及系统。一种实例设备包含半导体结构，其包括包含多个经图案化材料的侧壁上的第一材料的第一层。所述设备进一步包含包括所述第一层的侧壁上的氮化物材料的第二层。所述设备进一步包含包括所述第二层的侧壁上的所述第一材料的第三层。所述设备进一步包含用于为所述半导体结构提供数字线及单元触点隔离的基底区。所述设备进一步包含邻近于所述基底区的有源区，所述基底区邻近于所述半导体结构。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116981251 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202310298151.9 (22)申请日 2023.03.24 (30)优先权数据 17/731,895 2022
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