基板传送方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.96万字
约 22页
2023-11-01 发布于四川
举报
版权申诉

基板传送方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供一种校正基板的位置偏差并进行传送的基板传送方法。该基板传送方法包括下述步骤：以第一传送装置的拾取部接收第一基板和第二基板；检测第一基板的偏移量和第二基板的偏移量；基于第一基板的偏移量，计算拾取部的转送位置的校正量；使其移动到校正后的拾取部的转送位置，将第一基板转送到第二室的第一载置部，并将第二基板转送到第二室的第二载置部；使第二传送装置的第一拾取部移动到第一载置部的接收位置，以第一拾取部接收第一基板；基于拾取部的转送位置的校正量和第二基板的偏移量，计算第二传送装置的第二拾取部的接收位置

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116982145 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202280021431.9 (74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司