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本发明涉及照明光学系统、曝光装置以及物品的制造方法。提供一种有利于提高被照明面处的照度均匀性的技术。一种照明光学系统，使用来自光源的光束对被照明面进行照明，该照明光学系统具备：积分器，包括在第1方向上周期性地排列的多个第1光学元件，由来自所述光源的光束形成多个二次光源；透镜，用于使用来自所述多个二次光源的光束对所述被照明面进行照明；及光发散构件，包括在第2方向上周期性地排列的多个第2光学元件，配置于所述光源与所述积分器之间的光路上，以利用所述多个第2光学元件的各个使来自所述光源的光束发散而入射到
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116974145 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202310451335.4 (22)申请日 2023.04.25 (30)优先权数据 2022-075410 202
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