屏蔽栅极晶体管.pdfVIP

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2023-11-01 发布于四川
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屏蔽栅极晶体管.pdf

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本公开涉及屏蔽栅极晶体管。公开了一种晶体管，其具有衬底、安置于衬底上方的装置层、安置于装置层上方的栅极电极，以及安置于衬底上方且与栅极电极间隔开的漏极电极。第一源极电极安置于衬底上方，与漏极电极相对且与栅极电极间隔开。第二源极电极安置于衬底上方，与漏极电极间隔开，与栅极电极相对。电介质在第一源极电极与第二源极电极之间安置于装置层、栅极电极和漏极电极上方。导电互连件耦合第一源极电极和第二电极，并且在电介质上方延伸。导电互连件包括屏蔽壁，屏蔽壁从导电互连件延伸到栅极电极与漏极电极之间的电介质中，屏蔽

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116978938 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202310430432.5 (22)申请日 2023.04.21 (30)优先权数据