一种具有底端保护的单晶炉水冷屏.pdfVIP

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2023-11-01 发布于四川
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一种具有底端保护的单晶炉水冷屏.pdf

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本实用新型公开的一种具有底端保护的单晶炉水冷屏，包括：下炉筒，所述下炉筒内包括固定在所述下炉筒上方的水冷屏、保护环，所述下炉筒内用于溶解与储存多晶硅材料熔体。所述保护环套挂在所述水冷屏靠近所述多晶硅材料熔体的一面，所述保护环形成具备一定深度的环状凹槽，所述凹槽内储存有高热导率材料，所述凹槽侧壁延伸出连通至所述下炉筒外壁的管道，所述管道末端设有温度检测器。所述水冷屏在所述套挂位置设有固定件，所述保护环在所述套挂位置设有匹配所述固定件的凹陷部分，所述水冷屏的末端探至所述凹槽内。所述保护环内可以增加所

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219930325 U (45)授权公告日 2023.10.31 (21)申请号 202320481074.6 (22)申请日 2023.03.14 (73)专利权人昆明理工大学地址 65009