一种快速计算光刻掩膜图像的方法、装置及设备.pdfVIP

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2023-11-01 发布于四川
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一种快速计算光刻掩膜图像的方法、装置及设备.pdf

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本发明涉及光刻模拟领域，特别是涉及一种快速计算光刻掩膜图像的方法、装置、设备及计算机可读存储介质，通过接收目标版图；将所述目标版图输入神经网络模型，得到输出图像；所述神经网络模型在训练过程中的损失函数为训练输出图像与标准对照图像的差异的梯度的二范数；根据所述输出图像，确定光刻掩膜图像。本发明利用预训练的神经网络模型具有高数据吞吐和并发执行的特点，有效提升了光刻掩膜图像的计算效率，实现快速成像，同时使用训练输出图像与标准对照图像的差异的梯度的二范数作为所述神经网络模型的损失函数，可以有效利用神经网

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116974139 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202310964257.8 G06N 3/0475 (2023.01)