《合成低羟基光学石英玻璃》编制说明.pdfVIP

《合成低羟基光学石英玻璃》编制说明 一、任务来源及计划要求 经中国材料与试验团体标准委员会 （CSTM标准委员会）光电材料 及产品领域委员会审查，CSTM标准委员会批准CSTM标准 《合成低羟 基光学石英玻璃》由湖北菲利华石英玻璃股份有限公司牵头，项目公 告文件号：材试标字[2020]177号，归口管理委员会为CSTM/FC60、TC01 光电材料及产品领域委员会光学玻璃标准化技术委员会，标准计划编 号为CSTM LX 6001 00492-2020。 二、编制说明 1. 编制原则 本标准符合国家有关法规和政策，贯彻贯彻执行国家标准、国家 军用标准和行业标准的有关规定，充分吸收适用于本技术要求的相关 国家标准、国家军用标准的内容，与相关标准协调一致。 本标准的构成、内容、文字的表述、条文的编排、文件的引用等 符合GB/ T1.1—2009给出的规则要求。 编制出的标准应具有先进性、适用性、科学性和可操作性。 2. 工作分工 本标准由湖北菲利华石英玻璃股份有限公司牵头，上海光学精密 机械研究所为联合承研单位。具体分工如下： 1）湖北菲利华石英玻璃股份有限公司负责标准项目研制申请报 告，标准的起草及编制； 1 2）宁波大学、中国科学院西安光学精密机械研究所、成都光明光 电有限责任公司、中国科学院光电技术研究院、中国建筑材料科学研 究院均为标准的制定提供了非常宝贵的指导意见以及产品分析测试方 面的帮助。 3）宁波大学负责大纲的汇总、征求意见的组织和归纳。 自接到标准任务后，根据宁波大学戴世勋教授的提议，根据计划 要求成立了由湖北菲利华石英玻璃股份有限公司相关技术人员和标准 化人员组成的项目编制组,并编制了标准编制计划表，按照计划表开展 具体工作。结合中国建筑材料科学研究院在高品质合成石英玻璃领域 长期积累的经验及调研情况进行分析，前期分别在西安和成都召开了 两次标准意见征求会，邀请了宁波大学、中国科学院西安光学精密机 械研究所、成都光明光电有限责任公司、中国科学院光电技术研究院 等科研和生产单位，结合这些单位的技术专家给出的指导意见，确定 了合成低羟基石英玻璃的技术要求和试验方法，根据中国建筑材料科 学研究院提供的产品检测结果，编制出了标准草案。标准草案完成后， 2019年12月和宁波大学戴世勋教授课题组组织进行了讨论，确定了 修改原则，并对标准草案进行了修改完善，最终形成标准征求意见稿 初稿。 2020年上半年，在行业内进行了充分的征求意见，中国建筑材料 科学研究总院有限公司、成都光明光电股份有限公司、中国科学院上 海光学精密机械研究所、武汉理工大学、浙江大学、宁波舜宇红外技 术有限公司等单位给出的意见均表示同意立项并给出了宝贵意见。 2 2020年7月项目编制组提交了征求意见稿，8月3号根据收到返 回的修改意见完成修改后返还，将征求意见稿交中国材料与试验团体 标准委员会光电材料及产品领域委员会（CSTM/FC60），进行审查。2021 年1月14 日，项目编制组再根据CSTM新的格式要求进行修改后提交， 形成了新的征求意见稿。 三、主要技术内容的说明 1. 范围 本标准适用于国内微电子工业用超纯石英玻璃制品、航天用宇航 级光学石英玻璃、高能近红外激光技术用超纯低羟基合成石英玻璃和 半导体行业短波准分子激光光刻领域产品，直径或对角线尺寸不超过 300 mm。 本标准将主要规定合成低羟基光学石英玻璃的术语和定义，分类 与标记，技术要求，试验方法，检测规则以及标志、包装、运输和贮 存等。主要的技术要求如下： 对各种技术指标的测试和检测方法进行统一规定，保证技术指标 的准确和统一。对检验规则、包装、运输、贮存等环节进行统一说明 和规定，形成CSTM标准系列。 2. 内透射比 内透射比是本标准的核心要点，合成低羟基光学石英玻璃的一个 最主要特征就是在大于190nm的紫外波段和2600nm左右的红外波段具 有较高的光谱内透射比，也是合成低羟基光学石英玻璃和普通合成石 英玻璃的一个主要区别。根据GB/T 7962.12-2010，内透射比定义为 3 通过石英玻璃内部终止点与起始点之间的光通量之比，即不包含表面 反射损失