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本实用新型公开一种MEMS麦克风，包括基板、芯片组件以及壳体，其中壳体与基板固定连接，形成用于容纳芯片组件的腔体，壳体设有朝向基板方向延伸的凹陷结构，凹陷结构包括朝向基板方向延伸的倾斜部以及平行于基板的水平部，凹陷结构间隔设有至少两个声孔。本实用新型通过在壳体上设置凹陷结构和声孔，使凹陷结构可以阻挡外界的异物和液体进入腔体内，提高了麦克风的可靠性，此外凹陷结构还使得加工MEMS麦克风过程中，能够避免因外部冲击所导致的壳体变形甚至MEMS声音传感器以及ASIC芯片等发生破损，从而延长MEMS麦克风
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210670559 U (45)授权公告日 2020.06.02 (21)申请号 20192
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