一种感光型集成电路堆积绝缘膜的制备方法.pdfVIP

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2023-10-14 发布于四川
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一种感光型集成电路堆积绝缘膜的制备方法.pdf

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本发明涉及绝缘膜技术领域，尤其涉及IPCG03F领域，更具体地，涉及一种感光型集成电路堆积绝缘膜的制备方法。本发明从实际市场需求出发，通过基础研究与产业开发相结合的形式对堆积绝缘膜材料配方进行科学地设计，实现低热膨胀系数、高频低介电、低损耗、高结合力的精细线路积层胶膜的制造，本材料在绝缘、力学、导热等方面具有良好的性能，而且不依赖进口的昂贵的精密钻孔设备，这些性能使它能够替代ABF在微型芯片集成绝缘技术等电子领域具有广阔的应用前景。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116887527 A (43)申请公布日 2023.10.13 (21)申请号 202310516365.9 C09D 7/62 (2018.01)