一种半导体工艺流程的管理方法、装置及设备.pdfVIP

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2023-10-11 发布于四川
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一种半导体工艺流程的管理方法、装置及设备.pdf

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本公开提供了一种半导体工艺流程的管理方法、装置及设备，属于半导体技术领域，响应于数据修改指令，获取对半导体工艺流程中参数进行修改的修改指示信息；根据所述修改指示信息确定修改的参数所属的目标路径及目标站点，并提取所述修改的参数中的第一关键词；在与所述目标路径相同或不同路径中各站点相关参数中进行与第一关键词相匹配的第二关键词有哪些信誉好的足球投注网站，确定与所述修改的参数相关联的关联站点及其所在的路径；将所述关联站点及其所在的路径作为关联数据输出，根据用户的指示确定是否对所述修改的参数进行修改。通过本公开提供的方法解决了

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116860724 A (43)申请公布日 2023.10.10 (21)申请号 202210275080.6 (22)申请日 2022.03.21 (71)申请人长鑫存储技术有限