一种矽晶圆片固定工装.pdfVIP

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2023-10-10 发布于四川
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一种矽晶圆片固定工装.pdf

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本实用新型涉及一种矽晶圆片固定工装，用于固定矽晶圆片，其包括设置在矽晶圆片切割机工作台上的工装载体，及工装载体中心区域用于放置矽晶圆片的容纳空间；所述容纳空间是圆形镂空结构，尺寸与矽晶圆片相吻合；所述容纳空间上设置有限位接口，与矽晶圆片上的方向限位缺口相匹配。该固定工装可以有效的改善矽晶圆片的装夹效果并提高矽晶圆片的切割效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210628272 U (45)授权公告日 2020.05.26 (21)申请号 20192