一种用于晶圆检测的z轴制动音圈电机.pdfVIP

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2023-10-04 发布于四川
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一种用于晶圆检测的z轴制动音圈电机.pdf

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本发明提供了一种用于晶圆检测的Z轴制动音圈电机，包括两个E型铁芯、两个线圈以及竖直板，两个E型铁芯相对设置，两个线圈分别绕设在两个E型铁芯上；竖直板上设置有在水平方向上磁性相反的第一磁钢和第二磁钢，第一磁钢、第二磁钢以及竖直板沿竖向可活动的配合在两个E型铁芯之间；竖直板的下端连接有在竖直方向上磁性相反第三磁钢和第四磁钢，当两个线圈同时通入正向电流时，竖直板能够上升至第二高度位置并稳定不动；当两个线圈同时通入反向电流时，竖直板能下降至初始位置并稳定不动。本发明公开的一种用于晶圆检测的Z轴制动音圈电

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116846182 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310559026.9 (22)申请日 2023.05.15 (71)申请人中国科学院宁波材料技术与工程研