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本申请涉及一种气压调节组件及MEMS器件的封装结构。气压调节组件包括：基板；多个吸气单元，每个吸气单元包括多个吸气模块，吸气模块包括吸气剂和用于激活吸气剂的发热件；其中，位于同一吸气单元内的各吸气单元中具有相同的吸气剂，位于不同的吸气单元内的吸气模块中具有不同的吸气剂。通过启动不同吸气单元中的发热件工作，可以开启不同的吸气单元，从而激活不同的吸气剂，这使得本申请实施例中的气压调节组件可用于多种类型的MEMS器件。通过控制吸气单元内的发热件的启动数量，可以控制该吸气单元内吸气模块的启动数量，从而对
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116835520 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310874297.3 (22)申请日 2023.07.17 (71)申请人 苏州聚原科技有限公司 地址 21
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