一种晶圆研磨定位装置.pdfVIP

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2023-10-04 发布于四川
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一种晶圆研磨定位装置.pdf

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本发明公开了一种晶圆研磨定位装置，包括基台，基台上表面对应安装有研磨台，在研磨台上向内凹设有研磨槽，所述研磨槽内底部安装有防滑垫，并在研磨槽上四个方向上均增配有调节单元，在调节单元上对应安装有定位单元，借助定位单元在研磨槽内对晶圆进行四个方向的导向定位。本发明借助定位单元能够对晶圆进行四个方向上的定位，使得晶圆不会出现偏移，提升了研磨精度，可针对不同厚度的晶圆进行微调使用，灵活性强，并且在调节单元的配合下，能够实现对定位单元位置的灵活调整，从而实现适配不同尺寸的晶圆进行研磨加工，方便工作人员针对

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116833902 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310577659.2 (22)申请日 2023.05.22 (71)申请人苏州江锦自动化科技有限公司地址