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本发明公开了一种闭环反馈式激光精密加工方法及设备，加工方法包括以下步骤：S1、将待加工物料移动至测量激光束的光斑所能聚焦和覆盖的区域；S2、采集所述待加工物料的表面图像，使待加工物料位于成像焦平面；S3、确定待加工物料的加工区域，调整所述激光加工装置的加工参数；S4、通过所述图像采集装置采集所述加工区域表面的深度反馈图像，根据所述深度反馈图像调整所述激光加工装置的加工参数，或根据所述深度反馈图像更新待加工物料的加工区域和调整更新后的加工区域的加工参数。本方案提出的加工方法及设备，通过深度反馈图像
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116833576 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202311053894.6 (22)申请日 2023.08.21 (71)申请人 广东工业大学 地址 510062
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