一种防止镜面动态变形的扭转微振镜芯片及其制备工艺.pdfVIP

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2023-10-04 发布于四川
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一种防止镜面动态变形的扭转微振镜芯片及其制备工艺.pdf

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一种防止镜面动态变形的扭转微振镜芯片及其制备工艺，芯片包括键合玻璃上制备的扭转微振镜镜面，扭转微振镜镜面外周设有扭转微振镜镜面外框，镜面外框两侧分别与微振镜转轴的一端相连接，微振镜转轴的另一端与芯片外框相连接，微振镜转轴的两侧对称布置有扭转微振镜阵列梳齿，扭转微振镜阵列梳齿外侧分别设有梳齿驱动阵列，梳齿驱动阵列及芯片外框上分别布置有金属焊盘；制备工艺包括刻蚀SOI晶圆器件层、静电键合、去除底硅层和埋氧层、溅射SOI晶圆器件层背面和刻蚀SOI晶圆器件层背面；本发明通过在扭转微振镜镜面正面采用外框支

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116841037 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310949282.9 (22)申请日 2023.07.31 (71)申请人西安知象光电科技有限公司地址