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本发明公开了一种三氯氢硅合成尾气变压吸附回收系统及方法，所述回收系统通过两段吸附单元分别对氯化氢/氯硅烷、氮气/氢气进行吸附和再生，尾部得到高纯度氢气；吸附单元分别包括至少两个吸附塔，实现塔间均压，并通过真空泵提供动力进行解析，实现了两种混合气体及高纯度氢气的回收利用，提高尾气副产回收使用的经济价值。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116832574 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310738040.5 (22)申请日 2023.06.20 (71)申请人 湖北和远新材料有
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