一种适用于熔融石英的含有溶解蚕丝的化学机械抛光液及其制备方法和应用.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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一种适用于熔融石英的含有溶解蚕丝的化学机械抛光液及其制备方法和应用.pdf

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本发明涉及一种化学机械抛光液，具体是一种适用于熔融石英的含有溶解蚕丝的化学机械抛光液及其制备方法和应用。本发明抛光液包括二氧化铈、海藻酸钠和蚕丝溶液，抛光液包括0.005wt％～0.05wt％二氧化铈、0.0005wt％～0.04wt％海藻酸钠、0.005wt％～0.05wt％蚕丝溶液，其余为水。本发明抛光液的成分来源于天然产物，绿色环保，抛光液制备简单，分散性好，抛光效率(MRR)高达28.222μm/h，同时极大的降低了表面粗糙度(Sa)，Sa值为0.098nm，抛光后的表面光滑平整，无缺陷

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116814167 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310721027.9 (51)Int.Cl .