一种碱性清洗液的制备方法.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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一种碱性清洗液的制备方法.pdf

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本发明公开了一种碱性清洗液的制备方法。本发明的碱性清洗液的制备方法包括如下步骤：将所述的碱性清洗液中的各个组分混合，得到所述的碱性清洗液；所述的碱性清洗液的原料包括下列质量分数的组分：0.01‑30％有机碱、0.001‑4％酸、缓蚀剂、螯合剂、表面活性剂以及水，水补足余量，各组分质量分数之和为100％；所述的表面活性剂为非离子型双子表面活性剂；所述的有机碱与所述的酸的质量比为(12‑18):1。采用本发明的碱性清洗液的制备方法制得的碱性清洗液具有如下的一个或多个优点：具有较好的清洗效果，可以抑制

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116814341 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310795374.6 (22)申请日 2023.06.30 (71)申请人上海新阳半导体材料股份有限公司地