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本发明涉及光谱共焦测距技术领域,具体提供一种基于微透镜阵列的光谱共焦测距方法及系统,主要是将微透镜阵列应用于光谱共焦测距系统,利用微透镜阵列将平行的复色光分成多个子光束,每个子光束经过准直和色散处理后照射在被测物表面,每个子光束中某一波长的光会聚焦在被测物表面,该光沿原路反射进入光谱仪,可以同时测量被测物多个点的高度信息,被测物仅需要移动小范围运动即可完成整体表面形貌的测量,实现了高速、高精度光谱共焦测距。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116817791 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310788649.3 G02B 3/00 (2006.01) (22)申请日 2023.06.2
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