有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种像差的预算范围确定方法、装置、存储介质及计算机设备，应用于光刻系统。其中方法包括：获取多个目标泽尼克单项，其中，目标泽尼克单项为泽尼克多项式的多个泽尼克单项中，与光刻系统基于泽尼克多项式的曝光结果间的因果相关性满足第一预设条件的泽尼克单项；对泽尼克多项式进行拟合确定性筛选，在泽尼克多项式中确定出目标二阶耦合项，并基于目标泽尼克单项，获得目标泽尼克单项对应的高阶耦合项；基于目标泽尼克单项、目标二阶耦合项以及高阶耦合项，建立解析模型，并基于随机实验对解析模型进行拟合，得到拟合模型；基
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116819895 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310619748.9 (22)申请日 2023.05.29 (71)申请人 中国科学院微电子研究所 地址 1
文档评论（0）