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利用核生长阻滞的区域选择性薄膜形成方法.pdfVIP

利用核生长阻滞的区域选择性薄膜形成方法.pdf

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    根据本发明的一实施例，区域选择性薄膜形成方法包括：核生长阻滞剂供应步骤，将核生长阻滞剂供应至置有基板的腔体之内，使所述核生长阻滞剂吸附至所述基板的非生长区域；净化所述腔体内部的步骤；前驱体供应步骤，向所述腔体内供应前驱体，使得所述前驱体吸附至所述基板的生长区域；净化所述腔体内部的步骤；以及薄膜形成步骤，向所述腔体内供应反应物质，使该反应材料与所述吸附的前驱体反应以形成薄膜。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116829761 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202280009152.0 (74)专利代理机构 北京纽盟知识产权代理事务

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