一种双输出MEMS振荡器.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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一种双输出MEMS振荡器.pdf

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本发明提供一种双输出MEMS振荡器，其包括：电耦合的专用集成电路组件与MEMS组件，MEMS组件包括第一、第二谐振器，专用集成电路组件中第一、第二控制单元分别驱动第一、第二谐振器产生具有第一频率的第一信号具有第二频率的第二信号；温度单元用于感测MEMS组件的环境温度并基于环境温度确定补偿值；第一时钟生成单元基于补偿值和第一信号生成MHz级的第一时钟信号；第二时钟生成单元基于补偿值和第二信号生成KHz级的第二时钟信号。基于单个MEMS组件实现MHz级的第一时钟信号与KHz级的第二时钟信号的并行输出

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116827266 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310770608.1 (22)申请日 2023.06.27 (71)申请人麦斯塔微电子（深圳）有限公司地址