有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种SGOI器件的制造方法，包括：步骤一、提供SGOI衬底结构。步骤二、对顶部锗硅层表面进行氮化处理形成抗刻蚀层。步骤三、进行栅氧化工艺形成栅氧化层，栅氧化工艺同时将氧掺入到抗刻蚀层中并使抗刻蚀层为SiGeON层。步骤四、形成栅极导电材料层，对栅极导电材料层进行图形化刻蚀形成由栅氧化层和栅极导电材料层的栅极结构。在栅极导电材料层的图形化刻蚀中，抗刻蚀层对顶部锗硅层进行保护并防止产生锗硅材料缺失。本发明能防止栅极结构的图形化刻蚀工艺对顶部锗硅层产生损伤，从而能提高产品性能，并能为后续抬
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116825638 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310769508.7 (22)申请日 2023.06.27 (71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司 地址
文档评论（0）