一种硅片收料装置及硅片分选系统.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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一种硅片收料装置及硅片分选系统.pdf

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本申请提供了一种硅片收料装置及硅片分选系统，包括主输送线、料盒输送线、料篮输送线、第一收料机构、第二收料机构、第一AGV转运机构和第二AGV转运机构。主输送线上设有第一下料工位和第二下料工位。料盒输送线与第一下料工位之间设有第一收片工位，料盒输送线与第一AGV转运机构对接。料篮输送线与第二下料工位之间设置有第二收片工位，料篮输送线与第二AGV转运机构对接。第一收料机构将收满NG硅片的料盒搬运至料盒输送线，料盒输送线将料盒输送至第一AGV转运机构上。第二收料机构将收满合格硅片的料篮转送至料篮输送线

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116809429 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310851370.5 (22)申请日 2023.07.12 (71)申请人无锡奥特维科技股份有限公司地址