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2023-09-30 发布于北京
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紫外线激光装置和电子器件的制造方法.pdf

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本公开的一个观点的紫外线激光装置在振荡级激光器与放大器之间的光路上配置有光隔离器，该振荡级激光器输出紫外线波长的线偏振的脉冲激光，该放大器对脉冲激光进行放大并输出。光隔离器具有：第1法拉第转子，其通过第1方向的磁场使从振荡级激光器输出的脉冲激光的偏振方向向第1旋转方向旋转第1角度；第1偏振片，其被配置成使从第1法拉第转子输出的脉冲激光以0.9以上的归一化透射率透过；第2法拉第转子，其通过与第1方向相反的方向的磁场使透过第1偏振片后的脉冲激光的偏振方向向与第1旋转方向相反的方向旋转第2角度；以及第

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116830018 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202180092630.4 (74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限

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