一种混合式抗磁悬浮加速度传感器及其测量方法.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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本发明公开了一种混合式抗磁悬浮加速度传感器及其测量方法。混合式抗磁悬浮加速度传感器是由“Opposite”排布形式的充磁磁极阵列与采用抗磁性材料制作的矩形悬浮板构成的被动稳态悬浮结构以及由感应线圈、激光位移传感器、导磁芯轴、激励线圈、控制器、功率放大器构成的主动悬浮控制结构组成；测量方法包括以下几个步骤：开展混合式抗磁悬浮加速度传感器的安装；开展混合式抗磁悬浮加速度传感器的调试；开展混合式抗磁悬浮加速度传感器的实际测试。本发明实现了微小加速度的高精度测量，克服了现有高精度加速度传感器普遍存在的摩

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116819125 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310789617.5 (22)申请日 2023.06.30 (71)申请人南京航空航天大学地址 2100