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本申请关于一种弹性波滤波器及其制备方法,涉及弹性波滤波器领域。该弹性波滤波器包括压电基底、设置于非压电基底上的压电薄膜,以及一部分设置于非压电基底上、另一部分设置于压电薄膜上的导电材料薄膜图形;其中,导电材料薄膜图形形成多个叉指换能器电极和用于实现叉指换能器电极之间电连接的多段导电轨迹,多段导电轨迹包括至少两段相互对置的且具有不同电位的导电轨迹,在两段导电轨迹的沿垂直于压电薄膜的上表面方向上的投影区域内或/和两段导电轨迹之间的区域内没有压电薄膜。本申请基于压电薄膜和非压电基底的压电复合衬底的弹性
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116827296 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310661476.9 (22)申请日 2023.06.05 (71)申请人 无锡市好达电子股
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