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本发明公开了一种探针卡、探针卡测试系统以及探针卡测试方法，探针卡包括探针卡主体、第一测量引脚、第二测量引脚、第三测量引脚以及测量电阻。其中，第一测量引脚，第一测量引脚设置于探针卡主体上，用于在与待测电阻的一端连接时，向待测电阻内输送电流；第二测量引脚设置于探针卡主体上，并接地设置，用于在与待测电阻的另一端连接时，与待测电阻、第一测量引脚形成通路；第三测量引脚、第四测量引脚，第三测量引脚、第四测量引脚均设置于探针卡上，用于在对应与待测电阻的两端连接时，测量待测电阻的端电压。本发明解决了现有的量测机
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116819143 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310760867.6 (22)申请日 2023.06.26 (71)申请人 上海积塔半导体有限公司 地址 2
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