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本发明公开了一种扩散炉磷源供给系统，关于太阳能电池制造技术领域，包括扩散炉磷源供给装置，所述扩散炉磷源供给装置包括液态磷源瓶，内部储存有液态三氯氧磷；氮气供给管路包括氮气主管、第一氮气支管和第二氮气支管，所述氮气主管能够为第一氮气支管和第二氮气支管提供氮气。本发明能够使氮气喷出的水平距离随着液面的降低而增加，以此来确保氮气与液态三氯氧磷的接触时间，使氮气能够携带足量的三氯氧磷，从而使磷源蒸汽中三氯含量稳定，进而保障磷源的均匀供给，通过加热箱加热氮气，利用热氮气与磷源蒸汽混合达到对磷源的预热，避免
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116815328 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310748065.3 H01L 31/18 (2006.01) (22)申请日 2023.06.
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