GB/T 4937.26-2023半导体器件　机械和气候试验方法　第26部分：静电放电(ESD)敏感度测试　人体模型(HBM).pdf

ICS31.080.01 CCSL40 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT4937.26 2023IEC60749-262018 半导体器件 机械和气候试验方法 : ( ) 第 部分 静电放电 敏感度测试 26 ESD 人体模型( ) HBM — — : Semiconductordevices Mechanicalandclimatetestmethods Part26 ( ) — ( ) ElectrostaticdischareESDsensitivittestin Humanbod modelHBM g y g y ( : , ) IEC60749-262018IDT 2023-09-07发布 2024-04-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — / : GBT4937.26 2023IEC60749-262018 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅳ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 仪器和设备 ……………………………………………………………………………………………… 4 4.1 波形确认设备 ……………………………………………………………………………………… 4 4.2 示波器 ……………………………………………………………………………………………… 4 4.3 数字示波器的附加要求 …………………………………………………………………………… 4 ( )……………………………………………………………………… 4.4 电流传感器 感应电流探针 4 4.5 评价负载 …………………………………………………………………………………………… 5 4.6 人体模型模拟器 ……………………………………………………………………