DB52T 904-2014 电子级三氯氧磷.docxVIP

ICS?71.060.50 G?12 DB52 贵 州 省 地 方 标 准 DB52/T?904—2014 电子级三氯氧磷 Electronic?grade?phosphorus?oxychloride 2014?-?06?-?09?发布 2014?-?07?-?09?实施 贵州省质量技术监督局 发?布 DB52/T?904—2014 目 次 前言?................................................................................? II 1??范围?..............................................................................? 1 2??规范性引用文件?....................................................................? 1 3??分子式、相对分子质量及分类?........................................................? 1 4??要求?..............................................................................? 1 5??试验方法?..........................................................................? 2 6??检验规则?..........................................................................? 6 7??包装、标志、运输和贮存?............................................................? 6 附录?A（资料性附录）??处理废液的方法?..................................................? 7 I DB52/T?904—2014 前 言 本标准按照?GB/T?1.1-2009《标准化指导原则?第?1?部分：标准的结果和编写》给出的规则起草。 请注意：本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由贵州威顿晶磷电子材料有限公司提出。 本标准由贵州省质量技术监督局归口。 本标准起草单位：贵州威顿晶磷电子材料有限公司、贵州省产品质量监督检验院、贵阳精一科技有 限公司。 本标准主要起草人：蒋飚、钟宏波、祝飘、冯永渝、陈文强、黄春银?、刘涛、向东、龚宁、 贺思全、陈泉、舒晓骥、周大颖、张建刚、程化鹏。 II DB52/T?904—2014 电子级三氯氧磷 1??范围 本标准规定了电子级三氯氧磷的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签，包装、运输、贮 存和安全。 本标准适用于电子级三氯氧磷。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超 大规模集成电路芯片的扩散源等。 本标准不涉及使用安全性问题，本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及适用范围的建 立。 2??规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB?190?危险货物包装标志 GB/T?601 化学试剂?标准滴定溶液的制备 GB/T?603 化学试剂?试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T?6678 化工产品采样总则 GB/T?6680 液体化工产品采样通则 GB/T?6682?分析实验室用水规格和试验方法 GB/T?8170 数值修约规则与极限数字的表示和判定 GB/T?11446.1?电子级水 GB?50472 电子工业洁净厂房设计规范 HG/T?3606—2009?工业用三氯氧磷 3??分子式、相对分子质量及分类 分子式：POCl3 相对分子质量：153.33（按?2011?年国际相对原子质量） 分类：电子级三氯氧磷分为两种规格： 6N?级：纯度（基于金属杂质）≥99.999?9%，主要用于太阳能光伏电池扩散源； 7N?级：纯度（基于金属杂质）≥99.999?99%，主要用于大规模集成电路（IC）、分离器件扩散源。 4??要求 4.1??外观：无色透明液体。 4.2??电子级三氯氧磷应符合表?1?要求。 1 检验项目 6N?级 7N?级 三氯氧磷（POCl3）含量????????????≥ 99.9% 99.9% 纯度（基于金属杂质）???????????????≥