GB/T 43035-2023半导体器件　集成电路　第20部分：膜集成电路和混合膜集成电路总规范　第一篇：内部目检要求.pdf

ICS31.200 CCSL57 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT43035 2023IEC60748-20-11994 半导体器件 集成电路 第 部分: 20 膜集成电路和混合膜集成电路总规范 : 第一篇 内部目检要求 — — : Semiconductordevices Interatedcircuits Part20Generic g — secificationforfilminteratedcircuitsandhbridfilminteratedcircuits p g y g : Section1Reuirementsforinternalvisualexamination q ( : , ) IEC60748-20-11994IDT 2023-09-07发布 2023-09-07实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — / : GBT43035 2023IEC60748-20-11994 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅰ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅱ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 1.1 目的 ………………………………………………………………………………………………… 1 1.2 检查顺序 …………………………………………………………………………………………… 1 1.3 检查设备 …………………………………………………………………………………………… 1 1.4 检查环境 …………………………………………………………………………………………… 1 1.5 放大倍数 …………………………………………………………………………………………… 1 1.6 说明 ………………………………………………………………………………………………… 1 1.7 替代检验方法 ……………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 2 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 2 成膜基板 低放大倍数…………………………………………………………………………………… 4 - 3 4.1 基板 …………………………………