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本实用新型公开了一种脱落报警机构与真空蚀刻机喷淋装置，将固定件安装在连接部件上；再将触发件与固定件传动配合，使得触发件跟随固定件移动而移动，如此，当连接部件发生脱落时，连接部件会通过固定件带动触发件移动。由于触发件移动能够触发开关组件处于闭合状态，因此，当触发件伴随连接部件脱落而移动时，报警器所在电路处于导通状态，使得报警器工作报警。这样，使得作业人员能够及时、准确发现连接部件脱落问题。同时，本实施例通过固定件与触发件，使得连接部件与报警结构间接配合，避免报警结构需直接作业在连接部件上而导致脱落
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210515624 U (45)授权公告日 2020.05.12 (21)申请号 20192
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