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2023-09-20 发布于四川
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本发明为一种能够获得半导体装置的各部位的位置信息的三维数字显微镜(100)，其包括控制部(50)，所述控制部(50)生成包括半导体装置的各部位的位置信息的三维线图，控制部(50)获得半导体装置的垂直视图图像与多个立体图像，提取垂直视图图像中的轮廓线，生成垂直视图线图，基于存储于存储部中的形状参数，将垂直视图线图分别转换为多个立体线图，重复执行形状参数的调整与垂直视图线图向各立体线图的转换直至转换后的各立体线图与各立体图像重叠为止，将所生成的垂直视图线图及与各立体图像重叠的各立体线图合成，生成包括

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116783450 A (43)申请公布日 2023.09.19 (21)申请号 202280008404.8 (51)Int.Cl .