一种灵敏度可调的电容式柔性压力传感器及其制备方法与应用.pdfVIP

下载本文档

1
0
约9.32千字
约 8页
2023-09-16 发布于四川
举报
版权申诉

一种灵敏度可调的电容式柔性压力传感器及其制备方法与应用.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明属于压力传感器技术领域，本发明公开了一种灵敏度可调的电容式柔性压力传感器及其制备方法与应用。本发明所述电容式柔性压力传感器包括两层多孔聚二甲基硅氧烷介电层、一层离子凝胶介电层和两层集电极。本发明所述电容式柔性压力传感器在高压区域和低压区域均具有高的灵敏度；在低压区域传感原理是压容效应，在高压区域传感原理是双电层电容效应。在不同压力下所展现的不同电容效应可以使灵敏度曲线出现突变点，该灵敏度突变点可以通过多孔聚二甲基硅氧烷介电层的孔密度和大小来调控，从而实现了传感器灵敏度的按需调控。且该电容式

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116754110 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202310695078.9 G01L 9/12 (2006.01) (22)申请日 2023.06.1