三氧化二镓实验报告-质谱.docx

中国有色金属行业标准 《电感耦合等离子体质谱法测定高纯三氧化二》镓产品中杂质 试验报告 (预审稿) 峨嵋半导体材料2023年九月 高纯三氧化二镓中痕量杂质元素的测定电感耦合等离子体质谱法 范围 本标准规定了承受电感耦合等离子体质谱法测定 99.9999%以上高纯三氧化二镓中钠、镁、钙、钛、钒、铬、锰、铁、镍、钴、铜、锌、锡、铅、铟 15 种痕量元素的测试方法。 测定范围见表 1. 表 1 测定范围 元素 测定范围(w/%) Na 0.01×10-4~0.40×10-4 Mg 0.01×10-4~0.40×10-4 Ca Cr Mn 0.01×10-4~0.40×10-4 0.01×10-4~