一种真空镀膜设备.pdfVIP

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2023-09-14 发布于四川
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本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种真空镀膜机设备，包含真空镀膜腔室，其特征在于，所述真空镀膜机设备还包含预镀膜基体、除尘防护室、风淋装置、抽真空装置和惰性气体冲入装置。所述除尘防护室与真空镀膜腔室相连接，所述除尘防护室与真空镀膜腔室之间设有开关隔断装置；所述预镀膜基体包括基体和基体表面的遮盖物；所述除尘防护室包括遮盖物脱除装置和气体喷嘴阵列；所述风淋装置、抽真空装置和惰性气体冲入装置与除尘防护室相连接。该真空镀膜设备设置除尘防护室，结构简单，能有效避免基体在运输过程或者挂件过程中的带来的二

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210420124 U (45)授权公告日 2020.04.28 (21)申请号 20192